系统能力
主要应用:
- 能够测量寿命在1-5ms (豪秒)范围内的高纯度硅
- 能够测量没有进行特殊表面处理的原生直拉硅
- 能够测量多晶硅块的寿命和俘获浓度
其他应用:
- 探测氧化硼缺陷,铁污染,和表面损害
- 测试直拉硅,区熔硅,多晶硅或高纯冶金硅 的初始原料质量
更多信息
想要了解产品的主要功能,规格和更多的信息,请下载产品说明书。BLS/BCT product note (PDF – 803k).
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