WCT-120TS – 温度依赖性寿命测量仪

对载流子复合寿命随温度变化的关系进行校准分析的硅片测试仪。

产品概述

WCT-120TS 变温测试仪器包含了WCT-120 仪器独特的测量和分析技术的同时,又增加了温度变化功能,可以测试硅片在 25 °C 到 200 °C温度范围内载流子的复合寿命。使用 Sinton Instruments 公司开发的准稳态光电导(QSSPC)寿命测量方法,或瞬态光电导衰减方法测试硅片寿命。

WCT-120TS系统功能

主要应用:
测量一定温度范围内硅片中的载流子复合寿命。

其他应用:

  • 监测初始材料质量
  • 在硅片加工过程中检测重金属杂质污染
  • 评估表面钝化和发射极掺杂扩散
  • 使用隐含I-V测试,估算加工过程引起的并联电阻

更多信息

请下载WCT-120TS产品说明书以获取产品的主要功能、规格和其他信息。WCT-120TS product note (PDF – 563k).

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寿命随温度和注入水平的变化曲线