WCT-120PL – 用光致发光检测器测量晶片寿命

用标准方法和光致发光法测量硅晶片的校准载流子复合寿命。 WCT-120 PL是一个价格实惠的,桌面式硅寿命和晶片计量系统。

产品概述

WCT-120 PL晶片寿命测量工具与WCT-120独特的测量和分析技术都一样,但是The WCT-120PL多了一个功能,它能使用光致发电探测器测量PL的寿命和样品的参杂。
无论是准稳态光电导(PSSPC)寿命测量法还是瞬态光电导衰减(PCD)寿命测量方法都需要有寿命校准测量才能完整。该工具也可以简易地作为一个标准的WCT -120使用。

WCT-120PL 系统功能

初步应用:
通过使用瞬态寿命测量QSSPC和PL测量逐步监控和优化制造工艺。

其他应用程序:

  • 监测初始材料质量
  • 检测晶圆加工过程中的重金属污染
  • 评估表面钝化和发射极掺杂扩散
  • 用隐含VOC测量评估过程诱导分流
  • 从QSSPL和QSSPC数据中重复计算所有衬底掺杂

更多信息

想要了解产品的主要功能,规格和更多的信息,请下载产品说明书。WCT-120PL product note (PDF).

获得报价

Sinton公司的WCT-120PL仪器展示了校准PL寿命曲线与校准QSSPC寿命曲线,这些曲线可以显示载流子密度下的寿命数据。