是进行快速产线测试的完美工具。具有与离线工具相当的综合精度，以及专为工业生产设计的软件包，可以监控硅片少子寿命、方块电阻和陷阱浓度。
产品概述
将 Sinton Instruments 离线测试仪WCT-120 的校准寿命测试技术用于生产线，对工业生产线进行高级工艺监控。
使用 IL-800 可以对硅片寿命进行单次、大面积测量，测试会平衡晶界或晶体生长条件差异的影响。测试单元带有集成光源，可以安装到硅片轨道上方或下方，使用无接触传感器对每片经过轨道的硅片进行测试。
IL-800 系统功能
产品概述:
在关键工艺步骤测试硅片，来对生产线进行逐步监控和优化。
主要应用:
- 监测原料硅片质量（寿命、方块电阻和陷阱浓度）
- 对磷扩工艺进行质量监控
- 在生产过程中，提前发现来自于水、化学品、高温炉管或操作过程等造成的硅片污染
- 保证氮化硅镀膜工艺最佳的表面钝化效果
更多信息
请下载IL-800产品说明书以获取产品的主要功能、规格和其他信息。IL-800 product note (PDF – 603k).
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整合概述
我们欢迎自动化供应商的咨询，商讨如何实现可靠且经济高效的产线寿命测量，我们也会提供专业的支持和培训。我们也与一些研发和其他小型硅片制造厂以及他们所选择的自动化供应商直接合作，将 IL-800 集成到任何计量工作站中。
标准的操作软件可以在交付时进行迅速的原型设计和测试。在自动模式下，软件客户端使用TCP 或Profibus 接口等，将重要的硅片结果提供给服务器数据库。标准测试结果也包含了Sinton Instruments典型的测试结果 -寿命随少子浓度的变化。
