IL-800 – 在线晶片寿命测试

最快、最优的在线测试。监控晶片寿命,薄层电阻,使用离线工具和最优工具软件包获取最全面、最精确的数据。

产品概述

为Sinton WCT-120离线寿命测试仪研发的校准测量也可以用于在线测量,在工业生产线中完成复杂的过程监控。

IL-800可以单次测量大面积的晶片寿命,这样可以平衡晶界或生长变化的影响。其集成光源的测量单元可以安装在晶片轨道的下方或上方,用校准的非接触传感器来表征每个经过的晶片。

IL-800 系统性能

主要应用:
逐步监测和优化生产线,在关键阶段测量晶片产品。

其他应用:

  • 监控晶圆质量(寿命、片电阻和陷阱)
  • 监测磷扩散质量
  • 在过程中尽早检测来自水、化学品、熔炉或晶圆处理的晶片污染
  • 从氮化物沉积中维持最佳表面钝化质量

更多信息

想要了解产品的主要功能,规格和更多的信息,请下载产品说明书。IL-800 product note (PDF – 603k).

获得报价

整合概述

我们欢迎来自自动化供应商的咨询,他们需要可靠的和划算的在线寿命测量,而且需要给他们提供专业的支持和培训。我们也会与研发、其他小实验室和自动化供应商直接合作,把IL-800整合成任何度量工作站。

标准操作软件可以在交货时快速成型和测试。在自动化模式下,软件客户使用诸如本地OPC服务器或PROFIBUS总线接口之类的选项,向服务器数据库提供重要的晶片结果。Sinton仪器的少数载流子寿命的特性报告也是标准的。