IL-800 系统性能
主要应用:
逐步监测和优化生产线,在关键阶段测量晶片产品。
其他应用:
- 监控晶圆质量(寿命、片电阻和陷阱)
- 监测磷扩散质量
- 在过程中尽早检测来自水、化学品、熔炉或晶圆处理的晶片污染
- 从氮化物沉积中维持最佳表面钝化质量
更多信息
想要了解产品的主要功能,规格和更多的信息,请下载产品说明书。IL-800 product note (PDF – 603k).
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整合概述
我们欢迎来自自动化供应商的咨询,他们需要可靠的和划算的在线寿命测量,而且需要给他们提供专业的支持和培训。我们也会与研发、其他小实验室和自动化供应商直接合作,把IL-800整合成任何度量工作站。
标准操作软件可以在交货时快速成型和测试。在自动化模式下,软件客户使用诸如本地OPC服务器或PROFIBUS总线接口之类的选项,向服务器数据库提供重要的晶片结果。Sinton仪器的少数载流子寿命的特性报告也是标准的。