最快、最优的在线测试。监控晶片寿命，薄层电阻，使用离线工具和最优工具软件包获取最全面、最精确的数据。
产品概述
为Sinton WCT-120离线寿命测试仪研发的校准测量也可以用于在线测量，在工业生产线中完成复杂的过程监控。
IL-800可以单次测量大面积的晶片寿命，这样可以平衡晶界或生长变化的影响。其集成光源的测量单元可以安装在晶片轨道的下方或上方，用校准的非接触传感器来表征每个经过的晶片。
IL-800 系统性能
主要应用:
逐步监测和优化生产线，在关键阶段测量晶片产品。
其他应用:
- 监控晶圆质量（寿命、片电阻和陷阱）
- 监测磷扩散质量
- 在过程中尽早检测来自水、化学品、熔炉或晶圆处理的晶片污染
- 从氮化物沉积中维持最佳表面钝化质量
更多信息
想要了解产品的主要功能，规格和更多的信息，请下载产品说明书。IL-800 product note (PDF – 603k).
获得报价
整合概述
我们欢迎来自自动化供应商的咨询，他们需要可靠的和划算的在线寿命测量，而且需要给他们提供专业的支持和培训。我们也会与研发、其他小实验室和自动化供应商直接合作，把IL-800整合成任何度量工作站。
标准操作软件可以在交货时快速成型和测试。在自动化模式下，软件客户使用诸如本地OPC服务器或PROFIBUS总线接口之类的选项，向服务器数据库提供重要的晶片结果。Sinton仪器的少数载流子寿命的特性报告也是标准的。
